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      名稱:上海乾拓貿(mào)易有限公司
      上海地址:上海市嘉定區(qū)嘉涌路99弄6號(hào)713室
      聯(lián)系人;沈雪
      企業(yè)QQ:2880626081
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      產(chǎn)品資料

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置

      如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
      產(chǎn)品名稱: 介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置
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      產(chǎn)品展商: SUNX
      產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

      簡(jiǎn)單介紹

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置 檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2) 可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3) 檢測(cè)角度 12.5±5°(注4) 晶圓間距 間距3mm以上時(shí),可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5) 適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒 介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置


      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置  的詳細(xì)介紹

      介紹SUNX晶圓定位傳感器,panasonic傳感器安裝位置


      電源電壓 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
      消耗電流 65mA以下
      因此,對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器,可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
      而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段,即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。
      0.5ms的*速反應(yīng)
      實(shí)現(xiàn)0.5ms的*速反應(yīng)。兼顧*速反應(yīng)性和*精度。
      基于2段受光元件的*精度位置檢測(cè)
      利用反射光量檢測(cè)時(shí),反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
      輸出動(dòng)作 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
      短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)
      反應(yīng)時(shí)間 500μs以下
      工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
      穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
      定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 有效/無效切換式
      M-DW1的受光部使用2段受光元件,通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。
      因此,受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
      基于2段受光元件的*精度位置檢測(cè)
      可從四個(gè)方向引出電纜
      傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜。
      可根據(jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。
      尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm,質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型
      以往使用激光的激光式定位傳感器,激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員,十分危險(xiǎn)。
      M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
      M-DW1以反射光的位置來檢測(cè),不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
      氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì),吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。

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